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深圳眾裕康科技有限公司
產(chǎn)品型號RT RC-04
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
聯(lián)系方式:羅查看聯(lián)系方式
更新時間:2025-03-19 11:25:36瀏覽次數(shù):37次
聯(lián)系我時,請告知來自 食品機械設(shè)備網(wǎng)JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設(shè)置和測試微焦 X 射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率,對應(yīng)于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應(yīng)用于硅載體
每個測試圖案由 8 條線組成,T 形布局
吸收材料:鎢,厚度>=650nm
保護膜:PET膜25μm(含粘合劑)
硅基:15 µm +/- 1 µm(厚度)
外殼尺寸:40 x 30 x 5 毫米(寬 x 高 x 深)
芯片尺寸:5 x 5 x 0.06mm(寬 x 高 x 深)
精度模式: 公差: +/- 10%
適用范圍工作溫度:10°C至70°C
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