FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)

滑軌管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預先設(shè)定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛，無污染，抗急冷急熱性能好。設(shè)備外形精巧美觀，周邊拓展性好，適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點      工

• 作溫度RT～1000℃。
• 爐管管徑25mm～90mm可選。
• 溫區(qū)個數(shù)1個
• 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準?？删庉嫛Υ娌⒄{(diào)用多段程序，無需重新設(shè)置，操作簡單。
• 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。
• 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風冷結(jié)構(gòu)。
• 爐口密封：不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣美標針閥。
• 爐管保護：兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長石英管的使用壽命。
• 超溫保護功能，當溫度超過允許設(shè)定值自動斷電。
• 安全保護當爐體漏電時自動斷電。。
• LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用。
• 額外選配：爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；

真空系統(tǒng)（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；

氣氛系統(tǒng)（浮子流量計、質(zhì)量流量計）；

監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控）；

              注：選件需配置拓展柜體；

注：給出的zui高溫度為工作管外測定，其它溫區(qū)個數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制。