碳納米管連續(xù)生產(chǎn)管式爐(T max 1100℃)

碳納米管連續(xù)生產(chǎn)管式爐專門設計用于1000℃以下CVD工藝和碳納米管連續(xù)生產(chǎn)工藝，同時也可用于其他碳材料工藝的研發(fā)和連續(xù)式生產(chǎn)工藝，也可太陽能電池硅片擴散、退火工藝。

技術參數(shù)

u 工作溫度RT～1000℃。

u 高純石英爐管，管徑90mm～250mm可選。

u 溫區(qū)個數(shù)3～6個可選。

u 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準?？删庉?、儲存并調用多段程序，無需重新設置，操作簡單。u 爐管個數(shù)1～4個可選。

u 執(zhí)行元件進口SSR精度高，無噪音。

u 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內嵌式環(huán)繞加熱升溫速率可達10℃。

u 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。

u 安全保護當爐體漏電時自動斷電。

u 進料裝置，自動和手動推桿進料方式。

u 出料裝置，石英管結合手套箱操作，潔凈度高。

u 額外選配：爐內測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；

氣氛系統(tǒng)： （多路浮子流量計、質量流量計）；

監(jiān)控系統(tǒng)： （溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控）；

注：給出的zui高溫度為工作管外測定，其它溫區(qū)個數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制。