1100℃滑軌式CVD管式爐

1100℃滑軌式CVD管式爐 專門設(shè)計(jì)用于1100℃以下快速升溫快速降溫的RTP工藝，采用優(yōu)質(zhì)電阻絲，內(nèi)嵌在輕質(zhì)陶瓷纖維材料中，溫場(chǎng)均勻，使用壽命長(zhǎng)，升溫快，周邊拓展性好，外形規(guī)整，適合高校、科研院所實(shí)驗(yàn)之使用。

技術(shù)參數(shù)

◆ zui高溫度1100℃。

◆ 長(zhǎng)方形爐體，帶空氣強(qiáng)冷，外形噴塑，精巧美觀。

◆ 工作管徑范圍50mm—90mm。

◆ 高純氣煉石英管，法蘭密封。

◆ K分度熱電偶，單溫區(qū)控制。

◆ 輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料，耐熱沖擊性好，蓄熱低。

◆ 快速升溫，快速降溫，1000℃≤15min。

◆ 半導(dǎo)體繼電器控制加熱元器件，控溫精確，壽命長(zhǎng)，無噪音。

◆ 多段程序控溫，PID調(diào)節(jié)，可編制多種升降溫程序。

◆ 超溫保護(hù)功能，超溫自動(dòng)斷電。

◆ 拓展選件：爐內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)（氧含量檢測(cè)系統(tǒng)、露點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)、溫度檢測(cè)系統(tǒng)）；

真空系統(tǒng)（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）；

氣氛系統(tǒng)（多路浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)）；

記錄系統(tǒng)（有紙記錄、無紙記錄）；

注：1、zui高溫度為管外測(cè)量，工作管內(nèi)溫度低約50℃。

2、非標(biāo)管徑、加熱區(qū)長(zhǎng)度可根據(jù)客戶工藝要求定制